系统使用方便性能稳定低耗高效PTL普特勒低温大气射频辉光等离子系统的应用领域FPD 方面LCD， LTPS， OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺另外多元电极和原有大气压。

等离子清洗机是用气体清洗的， 是一种干式的清洗方式之所以叫电浆清洗是因为反应的时候会发出辉光， 根据不同的气体发出的辉光颜色不一样的， 有时候会发红光， 所以早期的时候， 台湾人称之为电浆清洗机电浆。

在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的 化学性能 ，如 氧气 的等离子体具有很高的氧化性，能氧化 光刻胶 反应生成气体，从而达到清洗的效果腐蚀性气体的等离子体具有很好的 各向异性 ，这样就能满足刻蚀的需要 利用等离子处理时会发出 辉光 ，故称之为 辉光放电 处理。

每种气体电子跃迁时发出的光波长都不一样，所以看到不同颜色的光，当然你加大功率到一定程度看起来都是白光，因为光子太多 东莞。