1、2可以让厂家过来看一下蒸发温度，老设备的话可能因为污垢弱化蒸发皿的传热效率3工艺气体会让真空度下降，也算比较正常的抽的时候先抽的高一点吧4扩散泵油需要半年或一年清洗一次，具体看泵的情况泵的加热器；等离子处理英文叫Plasma Cleaner又称等离子清洗机，等离子表面改性设备，电浆清洁机，等离子表面处理机，等离子体表面处理设备，等离子蚀刻机，等离子清洗器，等离子清洗仪电浆清洗机等离子体材料表面改性处理设备，等离子体表面改性；在研磨过程中使用的沥青是起保护作用的，以防止抛光完的镜面被划伤或腐蚀研磨后的清洗设备大致分为两种 一种主要使用有机溶剂清洗剂，另一种主要使用半水基清洗剂2镀膜前清洗镀膜前清洗的主要污染物是求芯油也称；因为每个清洗机的刷子的硬度都可能是不同的，通过对清洗后膜层的检测来确定清洗机器的刷子对膜是否造成伤害当清洗MSVD低辐射膜的镀膜玻璃时，最好不采用循环水，因为这些膜对pH值非常敏感如果采用循环水，应监测pH值的。

2、3真空镀膜机，含有真空离子蒸发，磁控溅射，PLD激光溅射沉积等工作方式4光刻机，又名掩模对准曝光机，功能有曝光系统，光刻系统等，光刻机精准性高，严谨性强5清洗机，用于冲洗过滤液压系统，在制造装配中具有高；一关闭电源，拆除加热炉 二让扩散泵冷却到室温，拔出泵壁的测量孔上的密封，把空气放入泵内 三拆除机械泵联接和扩散泵 四取出扩散泵，取出里面的部件，如喷油伞等，一定要记住安装秩序和位置 五清洗部件和泵；你用的是扩散泵吧不用详细，你只要记住最主要的几点1检查高阀挡板是不是装的到位，千万不用装反了···2高阀不要开的太急···3低真空稍微抽低一点···4产品是不是处理的正确···5扩散泵泵芯；水的电导率，清洗机检查一下。

3、1镀膜一段时间后，真空镀膜机内壁必须要清洁处理2工作人员有专门的服装，操作要戴手套脚套等3清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求4使用的源材料要符合必要的纯度要求5样品取出后放置环境要注意清洁的问题。