日本雅马拓国外小型等离子清洗机，等离子设备在硅晶片的光刻胶剥离，有机膜去除，界面活性化，微细研磨，碳化膜去除等领域，雅马拓科学的等离子产品都发挥了积极的作用；该款设备除清洗功能外，还具备表面改性，键和，浅刻蚀等功能该款设备操作更为简便，只需要一个开关键即可对整个清洗过程进行控制。

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