产品包括光刻工序涂胶显影设备涂胶显影机喷胶机和单片式湿法设备清洗机去胶机湿法刻蚀机，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理如LED芯片制造环节及812英寸单晶圆处理如集成电路制...